Общероссийский классификатор стандартов → МЕТРОЛОГИЯ И ИЗМЕРЕНИЯ. ФИЗИЧЕСКИЕ ЯВЛЕНИЯ → Линейные и угловые измерения *Включая геометрические характеристики (GPS) → Линейные и угловые измерения в целом
ГОСТ Р 8.631-2007. Государственная система обеспечения единства измерений. Микроскопы электронные растровые измерительные. Методика поверки
Настоящий стандарт распространяется на измерительные растровые электронные микроскопы (РЭМ), применяемые для измерений линейных размеров в диапазоне от 10 в ст. минус 9 до 10 в ст. минус 6 м, и устанавливает методику их первичной и периодических поверок с помощью рельефных мер по ГОСТ Р 8.628 и ГОСТ Р 8.629.
Межповерочный интервал РЭМ - 6 мес.
Название на англ.: | State system for ensuring the uniformity of measurements. Scanning electron measuring microscopes. Methods for verification |
Тип документа: | стандарт |
Статус документа: | действующий |
Число страниц: | 11 |
Дата актуализации текста: | 22.03.2010 |
Дата актуализации описания: | 22.03.2010 |
Дата издания: | 16.07.2007 |
Дата введения в действие: | 01.02.2008 |
Дата последнего изменения: | 15.10.2009 |